[发明专利]一种高纯硅烷的制备方法有效
| 申请号： | 201310495180.0 | 申请日： | 2013-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN103613100A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 李保山;李世江;侯红军;杨华春;李云峰;于贺华;薛旭金;刘海霞;刘陈红;薛峰峰 | 申请（专利权）人： | 多氟多化工股份有限公司;北京化工大学 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 牛爱周 |
| 地址： | 454191 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高纯硅烷的制备方法，包括：1）将钠溶解在液氨中形成混合液；2）将所得混合液置于反应釜中，将惰性气体充入反应釜内进行气体置换至反应釜内气体合格；3）将SiF4和H2持续通入反应釜内与混合液进行反应，制得粗硅烷；4）将粗硅烷进行吸附、精馏，即得所述高纯硅烷。本发明的高纯硅烷的制备方法，原料廉价易得，具有很大的成本优势；反应条件温和，安全系数高，易于控制，便于自动化操作，适合大规模工业化生产；反应过程中夹杂的杂质气体少，所得硅烷产品纯度高，简化了后续硅烷提纯的工艺，进一步降低设备投资与生产成本；副产物纯度高，可直接用于生产无机氟化物，具有显著的经济效益和环境效益，适合推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 硅烷 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高纯硅烷的制备方法，其特征在于：包括下列步骤：1）将钠溶解在液氨中形成混合液；2）将步骤1）所得混合液置于反应釜中，将惰性气体充入反应釜内进行气体置换至反应釜内气体合格；3）在搅拌条件下，将SiF4和H2持续通入反应釜内与混合液进行反应，制得粗硅烷；4）将步骤3）所得粗硅烷进行吸附、精馏，即得所述高纯硅烷。
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