[发明专利]一种鳍式场效应管的制备方法

摘要

本发明提供一种鳍式场效应管的制备方法，所述制备方法至少包括步骤首先，在已制备的鳍结构上旋涂有机材料层或无定形碳，使有机材料层或无定形碳覆盖鳍结构表面和侧壁；然后，通入第一气体和第二气体的混合气体，并将混合气体等离子化，在混合气体形成的等离子的作用下刻蚀有机材料层或无定形碳，使得鳍结构顶部暴露并圆化；最后，去除剩余的有机材料层或无定形碳。本发明提供的鳍式场效应管的制备方法可以有效地将鳍结构顶部圆化，圆化的鳍结构顶部一方面能够降低鳍结构顶部的高场聚集效应，减小源漏间的漏电流，另一方面，在圆化的鳍结构表面淀积形成的栅极结构的厚度比较均匀，不会出现断裂，器件的整体性能得以提升。

主权项

一种鳍式场效应管的制备方法，其特征在于，所述鳍式场效应管的制备方法包括对鳍结构顶部的处理方法，所述处理方法至少包括以下步骤：1)在已制备的鳍结构上旋涂有机材料层或无定形碳，使有机材料层或无定形碳覆盖鳍结构的表面和侧壁；2)通入第一气体和第二气体的混合气体，并将混合气体等离子化，在混合气体形成的等离子的作用下刻蚀有机材料层或无定形碳，使得所述鳍结构顶部暴露并圆化，所述有机材料层或无定形碳与鳍结构材料的刻蚀选择比为1.1～1.2；3)去除剩余的有机材料层或无定形碳。