[发明专利]检查装置有效
| 申请号： | 201310481443.2 | 申请日： | 2013-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN103728505A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 三浦一佳;高木一也;夏堀公士 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种检查装置，其在一台检查装置中应对种类不同的被检查体的检查，并且提高检查装置的运转率，从而提高该被检查体的检查工序的生产率。检查被检查体的检查装置具备检查上述被检查体的多个探测单元机构和与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，上述多个探测单元机构能够在相同的方向线上移动，在上述方向线上存在上述检查位置。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种检查装置，检查被检查体，其特征在于，上述检查装置具备：检查上述被检查体的多个探测单元机构；以及与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，其中，上述多个探测单元机构能够在相同的方向线上移动，在上述方向线上存在上述检查位置。
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