[发明专利]一种制备多功能硅微纳米结构材料的方法

摘要

本发明涉及一种制备多功能硅微纳米结构材料的方法，属于新材料与纳米材料技术领域。本发明将金属催化硅腐蚀技术与原电池腐蚀技术有效结合，直接利用溶解于氢氟酸溶液中的氧气作为促进硅腐蚀的氧化剂，不需要添加其它氧化剂如双氧水、硝酸铁等。该技术简单易行，可以实现多种形貌硅微纳米结构材料的规模化制备。所制备的硅微纳米结构材料在太阳能电池、锂离子电池、热电器件、气敏元件以及活性表面增强拉曼光谱术衬底等领域具有广泛的应用前景。

主权项

一种制备多功能硅微纳米结构材料的方法，其特征在于：所述方法依次按如下步骤进行，(1)利用化学镀或者真空热蒸发镀膜技术在清洁的硅衬底表面沉积一层银或金膜；(2)利用光刻技术和真空热蒸发镀膜技术在清洁的硅衬底表面沉积一层呈规则图形分布的银或金膜；(3)将步骤(1)或(2)得到的硅衬底放置在石墨板或石墨毡、金板、银板、铂板上并使二者密切接触，随后一起浸入含有氢氟酸溶液的容器中，并向容器中通入空气或氧气，在25‑50摄氏度条件下腐蚀5‑360分钟即可得到硅微纳米结构材料；(4)将步骤(1)或(2)得到的硅衬底放置在聚四氟乙烯板或石墨板、金板、银板、铂板上，随后一起放入充满氢氟酸蒸汽的容器中，并向容器中通入空气或氧气，在25‑50摄氏度条件下腐蚀5‑360分钟即可得到硅微纳米结构材料。