[发明专利]一种原位测量纳米器件的透射电镜样品台有效
| 申请号： | 201310477205.4 | 申请日： | 2013-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN103531424A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 吴幸;孙立涛;余开浩;吴旻骏;潘弘扬;邢雪;马子哲 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N23/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 王华 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原位测量纳米器件的透射电镜样品台，包括金属纳米探针、绝缘堵片和样品支撑台，所述绝缘堵片的正反表面分别设有多个金属电极，且对应的金属电极之间通过金属化通孔实现导电连接；所述样品支撑台一端与绝缘堵片连接，另一端设有取样区和测试区，所述测试区为设在样品支撑台表面并悬空的金属电极，样品支撑台的金属电极与绝缘堵片的金属电极为导电连接；所述金属纳米探针、测试区金属电极和被测样品构成三端场效应晶体管。本发明能够在原子尺度的分辨率下观察样品并实时进行电学测量，原位揭示待测单元的电学性能和纳米结构变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原位 测量 纳米 器件 透射 样品 | ||
【主权项】：
一种原位测量纳米器件的透射电镜样品台，其特征在于：包括金属纳米探针、绝缘堵片和样品支撑台，所述绝缘堵片的正反表面分别设有多个金属电极，且对应的金属电极之间通过金属化通孔实现导电连接；所述样品支撑台一端与绝缘堵片连接，另一端设有取样区和测试区，所述测试区为设在样品支撑台表面并悬空的金属电极，样品支撑台的金属电极与绝缘堵片的金属电极为导电连接；所述金属纳米探针、测试区金属电极和被测样品构成三端场效应晶体管。
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