[发明专利]一种栅控行波管栅网的皮秒脉冲激光切割制备方法

摘要

本发明公开了一种栅控行波管栅网的皮秒脉冲激光切割制备方法，该方法首先对栅网材料进行清洗、烧氢退火处理，再用模具在冲床上压制成曲率半径精度高的球面栅网毛坯，然后对毛坯进行去应力烧氢处理，消除加工过程中的应力，从而保证栅网球冠曲率半径的稳定性；最后采用优化工艺的皮秒级脉冲激光进行栅网的切割，制备得到尺寸精度高、一致性好的栅控行波管栅网。本发明提供的栅控行波管的栅网的制备方法，通过大量实验筛选皮秒级的激光切割的具体工艺参数，可操作性强，工艺设计合理，应用范围广泛，制备得到的栅网尺寸精度高，一致性好，良品率高，可靠性高，具有重要的应用价值，可以有效地解决现有电火花加工栅网技术的不足。

主权项

一种栅控行波管栅网的皮秒脉冲激光切割制备方法，其特征在于，它包括以下步骤：a、取栅网材料用冲模落料后，清洗去除栅网材料表面的油污，然后将栅网材料置于烧氢炉烧氢退火处理，然后将栅网材料放置在凸起的球面模具上用冲床压制成中心呈凸起的球面形圆块，得到球面栅网毛坯； b、取步骤a得到的球面栅网毛坯进行清洗，然后将清洗后的球面栅网毛坯放置于烧氢炉烧氢退火处理，去除成型时产生的应力，得到去除应力的球面栅网毛坯，备用；c、取步骤b得到的球面栅网毛坯进行皮秒激光切割，具体步骤为：首先将球面栅网毛坯用工装夹具固定，具体做法为先将底座（4）固定于皮秒激光加工设备的载物台上，校正底座（4）的中心，然后将球面栅网毛坯(1)用螺帽(2)和压圈(3)固定在底座(4)上，底座（4）的中心与球面栅网毛坯(1)的中心重合，用CAD绘制需要加工的图形，然后用脉冲为皮秒级的激光切割，得到栅控行波管栅网的成品。