[发明专利]基于超颖材料结构的空间光调制器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于超颖材料结构的空间光调制器及其制备方法。该空间光调制器包括光功能元件阵列和控制电路，所述光功能元件包含超颖材料结构，所述超颖材料结构至少包括金属纳米结构层和金属反射镜层，所述金属纳米结构层和金属反射镜层之间设有介质层与非金属导电材料层；其制备方法包括：在衬底上制备控制电路，然后制备金属反射镜层、介质层、非金属导电材料层，然后再加工形成金属纳米结构层和透明保护层，并进行电互联。本发明空间光调制器结构简单，集成度高，易于制作，成本低廉，能实现高速调制，调制深度易于调控，并且最低可以将驱动电压控制在1V以下。

主权项

1.一种基于超颖材料结构的空间光调制器，包括光功能元件阵列和控制电路，其特征在于，所述光功能元件包含超颖材料结构，所述超颖材料结构包括金属纳米结构层和金属反射镜层，所述金属纳米结构层和金属反射镜层之间设有介质层与非金属导电材料层，并且所述超颖材料结构的阻抗Z等于或接近376.7Ω，其中ε、μ分别是所述超颖材料结构的有效介电常数和磁导率，其中用于形成所述非金属导电材料层的材料选自铟锡氧化物、氧化锌、氧化锡、氧化铟、氮化钛、氮化锆或者单层或多层石墨烯。