[发明专利]溅射离子枪

摘要

本发明公开了一种溅射离子枪，具有：气流方向调节装置、氩离子产生装置和聚焦透镜；氩离子产生装置的内部具有加载电压可调的电子加速栅网和与该电子加速栅网参考点位相关联的灯丝；电子加速栅网为一侧壁为金属网的圆管；电子加速栅网的前端为栅网阳极，后端为栅网阴极；通过调节加载在电子加速栅网上的电压控制氩离子沿该栅网轴向的运动速度，调节离子产生效率。本发明可以在进行表面刻蚀或深度分析时单独使用，提升离子枪表面处理效果的同时使得表面处理过程可调控。在进行样品表面的清洁处理或表面重构时可以采用离子溅射和真空退火反复循环处理。整套离子枪的用材完全适合超高真空环境的使用要求，可耐200℃以上的高温烘烤。

主权项

一种溅射离子枪，具有：由外界气源引入氩气的气流方向调节装置、位于该调节装置前端的氩离子产生装置和最前端的聚焦透镜；所述氩离子产生装置的内部具有加载电压可调的电子加速栅网、与该电子加速栅网参考电位相关联的灯丝和处于零电位离子加速栅网；所述电子加速栅网为一侧壁为金属网的圆管；通过调节加载在电子加速栅网上的电压，控制氩离子产生的数量进而调节离子产生效率和离子的运动速度；所述灯丝位于电子加速栅网圆管的外部，灯丝的两端分别连通电源；所述离子加速栅网为一平面金属网，位于电子加速栅网的前端，与电子加速栅网的中心轴线垂直；工作时，电子加速栅网和灯丝通电，电子加速栅网相对于所述处于零电位的离子加速栅网具有正高压，栅网之间形成电场；灯丝通电后发射电子，产生的电子在电子加速栅网作用下沿电子加速栅网的径向加速运动，轰击通过栅网的氩原子，使氩原子电离产生离子；所产生的离子被电子加速栅网和离子加速栅网之间的电场正高压加速，由前端的离子加速栅网输出，经由所述聚焦透镜聚焦后喷出。