[发明专利]一种内表面具有凹槽拉晶用石英玻璃坩埚的制备方法无效
| 申请号： | 201310474340.3 | 申请日： | 2013-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN103526280A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 司继成;朱强;向真雄;沈凯峰;凌建平 | 申请（专利权）人： | 南通路博石英材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226111 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种拉制单晶硅用石英玻璃坩埚及其制备方法，其特征在于：石英玻璃坩埚内表面特定区域有凹槽。设坩埚总高度为H，凹槽位于从石英玻璃坩埚底部开始0.2H-0.99H范围的相应位置。本发明石英玻璃坩埚在拉制硅单晶时能够稳定抑制硅溶液的表面振动，并具有长寿命的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 具有 凹槽 拉晶用 石英玻璃 坩埚 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于拉制单晶硅的石英玻璃坩埚，其特征在于：坩埚内表面特定区域内具有凹槽结构。
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