[发明专利]抗蚀剂剥离液的再生方法以及再生装置

摘要

涉及抗蚀剂剥离液的再生方法以及再生装置。抗蚀剂成分是常温下为固体的有机物，存在残渣浓缩器的出入口附近温度下降时固体化而附着。再生使用完毕的抗蚀剂剥离液的再生方法具有：低沸点分离工序，分离水等低沸点物质；高沸点分离工序，将含抗蚀剂的残留液和溶剂等作为分离物取出；残渣浓缩工序，将前述含抗蚀剂的残留液在残渣浓缩器内进一步浓缩，分离前述溶剂等并返回至前述高沸点分离工序；精制工序，从前述高沸点分离工序的分离物气化分离前述水的剩余部分作为废液B，将分离残留液作为剥离再生液取出；洗涤工序，使低沸点分离工序的分离残留液在前述残渣浓缩器内流下。

主权项

一种抗蚀剂剥离液的再生方法，其特征在于，其具有下述工序：低沸点分离工序，从抗蚀剂的剥离中使用的至少含有溶剂、含水的低沸点成分和抗蚀剂成分的使用完毕的抗蚀剂剥离液分离所述含水的低沸点成分的一部分并作为废液A气化分离并取出；高沸点分离工序，将所述低沸点分离工序的分离残留液气化分离，将所述含水的低沸点成分的剩余部分和所述溶剂作为分离液取出，将含所述抗蚀剂成分的含抗蚀剂的残留液作为分离残留液；残渣浓缩工序，将所述含抗蚀剂的残留液在残渣浓缩器内进一步浓缩，分离所述溶剂和所述含水的低沸点成分并返回至所述高沸点分离工序；精制工序，从所述高沸点分离工序的分离液气化分离所述水的剩余部分作为废液B，将分离残留液作为抗蚀剂剥离再生液取出；和洗涤工序，使所述低沸点分离工序的分离残留液在所述残渣浓缩器内均匀地流下。