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[发明专利]液液萃取装置-CN202280006009.6在审
发明人： 大野顺也;石泽英树;竹山友洁;小田昭昌;高桥宏彰;中岛浩司;乃美匡志;藤田知也;岩船光纮;铃木崇夫 -专利权人：瑞环控股有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B01D11/04 文献下载
摘要：本发明提供一种液液萃取装置，其能够使萃取塔的高度保持较低，对安装场所的限制较少，结构上也比较简单并能够高效地进行萃取。该具有多个萃取塔的多塔式液液萃取装置，其特征在于，其n个(n为2以上的整数)萃取塔并排配置，各萃取塔在塔顶部侧具有重液供给部和在塔底部侧具有重液排出部，另外，在塔底部侧具有轻液供给部和在塔顶部侧具有轻液排出部，n个萃取塔的重液通道串联连接，另外，这些n个各萃取塔中的至少两个通过各自的管道与各自的隔膜腔连接，所述隔膜腔具有封闭空间，其部分壁面由隔膜形成并通过运行驱动部来改变容积，每个萃取塔和各自的隔膜腔之间的管道具备可调节内部压力的压力调节腔和开闭阀。
萃取装置

[发明专利]抗蚀剂剥离液的再生方法以及再生装置-CN201310473199.5有效
发明人： 大野顺也;川瀬龙洋;井上恭;井城大世;小林繁;増田义登 -专利权人：日本瑞环化工有限公司;松下环境工程株式会社
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： B01D1/22 文献下载
摘要：本发明涉及抗蚀剂剥离液的再生方法以及再生装置。在分离使用完毕的抗蚀剂剥离液时，需要预先检出水分量，调整分离工序中的水分的粗分离的处理速率，但使用完毕的抗蚀剂剥离液由于浮游有抗蚀剂成分和无机固形物，因此无法通过吸光度计测定。本发明提供一种抗蚀剂剥离液的再生方法，其特征在于，其具有下述减少工序：通过超声波传感器对使用完毕的抗蚀剂剥离液中的水分量进行检测，在前述水分量比规定值大的情况下，减少处理量。
抗蚀剂剥离再生方法以及装置

[发明专利]抗蚀剂剥离液的再生方法以及再生装置-CN201310473524.8有效
发明人： 大野顺也;川瀬龙洋;井上恭;井城大世;小林繁;増田义登 -专利权人：日本瑞环化工有限公司;松下环境工程株式会社
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： B01D1/00 文献下载
摘要：涉及抗蚀剂剥离液的再生方法以及再生装置。抗蚀剂成分是常温下为固体的有机物，存在残渣浓缩器的出入口附近温度下降时固体化而附着。再生使用完毕的抗蚀剂剥离液的再生方法具有：低沸点分离工序，分离水等低沸点物质；高沸点分离工序，将含抗蚀剂的残留液和溶剂等作为分离物取出；残渣浓缩工序，将前述含抗蚀剂的残留液在残渣浓缩器内进一步浓缩，分离前述溶剂等并返回至前述高沸点分离工序；精制工序，从前述高沸点分离工序的分离物气化分离前述水的剩余部分作为废液B，将分离残留液作为剥离再生液取出；洗涤工序，使低沸点分离工序的分离残留液在前述残渣浓缩器内流下。
抗蚀剂剥离再生方法以及装置