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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]抗蚀剂剥离液的调和方法和调和装置-CN201310474005.3有效
  • 井上恭;井城大世;小林繁;増田义登 - 松下知识产权经营株式会社
  • 2013-10-11 - 2018-11-09 - G03F7/42
  • 本发明提供抗蚀剂剥离液的调和方法和调和装置。该调和方法的特征在于具备如下工序：向溶剂槽中称量再生液导入量的抗蚀剂剥离再生液的工序；计测前述溶剂槽中的第一溶剂的浓度的工序；算出第二溶剂的浓度的工序；从规定量和前述再生液导入量和前述第一溶剂的浓度算出第一溶剂追加投入量的工序；从前述规定量和前述再生液导入量和前述第二溶剂的浓度算出第二溶剂追加投入量的工序；向前述溶剂槽中投入前述第一溶剂追加投入量的前述第一溶剂和前述第二溶剂追加投入量的前述第二溶剂，从而得到调和溶剂的工序；边向调和槽中供给预定重量的纯水边称量的工序；以及将前述调和溶剂从前述溶剂槽输送至前述调和槽，从而得到抗蚀剂剥离液的工序。
  • 抗蚀剂剥离调和方法装置
  •  1 
  • 共 3 条
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