[发明专利]一种基于有机基板技术的封装工艺及封装结构有效
申请号: | 201310459272.3 | 申请日: | 2013-09-26 |
公开(公告)号: | CN103474363A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 郭学平;于中尧;谢慧琴 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/60;H01L23/14;H01L23/31;H01L23/498 |
代理公司: | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人: | 王爱伟 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于有机基板技术的封装工艺及封装结构,所述封装工艺其包括,提供一有机基板,所述有机基板具有第一主面和与第一主面相对的第二主面;在有机基板第一主面形成金属槽,所述金属槽的尺寸与待封装的芯片的尺寸相适应;将所述芯片安装于所述金属槽内;在所述第一主面上形成芯片载板以将所述芯片封装于所述金属槽内;在有机基板的第二主面一侧形成连接芯片的连接垫片的封装管脚。本发明完全采用基板制造技术实现其封装,能够完全与基板工艺技术相兼容;同样该技术在一定程度上解决了该封装技术在后期量产中所预期遇到的问题,进一步推进了该技术产业化。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 有机 技术 封装 工艺 结构 | ||
【主权项】:
一种基于有机基板技术的封装工艺,其特征在于:包括,提供一有机基板,所述有机基板具有第一主面和与第一主面相对的第二主面;在有机基板第一主面形成金属槽,所述金属槽的尺寸与待封装的芯片的尺寸相适应;将所述芯片安装于所述金属槽内;在所述第一主面上形成芯片载板以将所述芯片封装于所述金属槽内;在有机基板的第二主面一侧形成连接芯片的连接垫片的封装管脚。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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