[发明专利]一种矩形波导传输器件的微机械制备方法无效
| 申请号： | 201310444513.7 | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103474739A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 赵兴海;郑英彬;程永生 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种矩形波导传输器件的微机械制备方法，所述的制备方法包括如下步骤：首先在一定厚度的双面抛光的硅基片上，采用刻蚀机刻蚀出波导传输器件的内部电路图形结构并刻穿；再在刻蚀出的电路结构各个表面溅射一层薄的金属种子层，然后在金属种子层表面电镀一层厚的其他高传导率金属层，然后采用键合技术在已经刻蚀出滤波器内部电路图形结构的硅晶圆上下表面各键合一镀有金属层的盖板；最后采用划片机按照设计尺寸将整个硅片上的每个单元划开和分离。采用本发明的制备方法制备的矩形波导传输器件，精度高、成本低、制备步骤少、可批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 矩形波导 传输 器件 微机 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种矩形波导传输器件的微机械制备方法，其特征在于：所述的制备方法包括如下步骤：首先在一定厚度的双面抛光的硅基片上，采用刻蚀机刻蚀出波导传输器件的内部电路图形结构并刻穿；再在刻蚀出的电路结构各个表面溅射一层金属种子层，然后在金属种子层表面电镀一层高传导率金属层，然后采用键合技术在已经刻蚀出滤波器内部电路图形结构的硅晶圆上下表面各键合一镀有金属层的盖板；最后采用划片机按照设计尺寸将整个硅片上的每个单元划开和分离。
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