[发明专利]一种矩形波导传输器件的微机械制备方法

权利要求书

1.一种矩形波导传输器件的微机械制备方法，其特征在于：所述的制备方法包括如下步骤：首先在一定厚度的双面抛光的硅基片上，采用刻蚀机刻蚀出波导传输器件的内部电路图形结构并刻穿；再在刻蚀出的电路结构各个表面溅射一层金属种子层，然后在金属种子层表面电镀一层高传导率金属层，然后采用键合技术在已经刻蚀出滤波器内部电路图形结构的硅晶圆上下表面各键合一镀有金属层的盖板；最后采用划片机按照设计尺寸将整个硅片上的每个单元划开和分离。

2.根据权利要求1所述的矩形波导传输器件的微机械制备方法，其特征在于：所述的矩形波导传输器件为矩形波导结构，内部电路结构单独加工，通过增加上下面盖板，实现矩形波导腔体封装。

3.根据权利要求1所述的矩形波导传输器件的微机械制备方法，其特征在于：所述的内部电路图形结构，主要包括感性膜片结构、容性膜片结构、微柱结构、微孔结构。

4.根据权利要求1所述的矩形波导传输器件的微机械制备方法，其特征在于：所述的矩形波导传输器件包括矩形波导滤波器、矩形波导功分器、矩形波导功率合成器、矩形直波导。

5.根据权利要求1所述的矩形波导传输器件的微机械制备方法，其特征在于：所述的金属层是铬、金、银、铜、铝、钼中的任意一种或以上。

6.根据权利要求1所述的矩形波导传输器件的微机械制备方法，其特征在于：所述的上下盖板基材是玻璃或者硅。

7.根据权利要求1所述的矩形波导传输器件的微机械制备方法，其特征在于：所述的金属种子层为Cr、镍的任意一种。

8.根据权利要求1所述的矩形波导传输器件的微机械制备方法，其特征在于：所述的高传导率金属层为金属金、银、铜的任意一种。