[发明专利]液体喷射装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201310444465.1 | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN104441990A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 李越 | 申请（专利权）人： | 珠海纳思达企业管理有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张娜 |
| 地址： | 519075 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种液体喷射装置及其制造方法。本发明液体喷射装置的制造方法包括：在基板上蚀刻形成凹槽；在所述凹槽内形成牺牲层，所述牺牲层与基板的表面平齐；在所述牺牲层上形成弹性膜，以使所述弹性膜搭接在所述凹槽的边缘，并部分覆盖所述凹槽的敞口，所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形；去除所述牺牲层。本发明通过电镀法形成的牺牲层具有耐高温、沉积速度快且容易去除等特点，避免传统方法使用的牺牲层材料去除速度慢以及高温下容易变形而导致桥式结构的变形等问题，使制备的桥式结构形成速度快且结构平坦，优化了压电式喷射装置中桥式结构的制备工艺，提高了产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 喷射 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种液体喷射装置的制造方法，其特征在于，包括：在基板上蚀刻形成凹槽；在所述凹槽内形成牺牲层，所述牺牲层与所述基板的表面平齐；在所述牺牲层上形成一弹性膜，以使所述弹性膜搭接在所述凹槽的边缘，并部分覆盖所述凹槽的敞口，所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形；去除所述牺牲层。
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