[发明专利]液体喷射装置及其制造方法

权利要求书

1.一种液体喷射装置的制造方法，其特征在于，包括：

在基板上蚀刻形成凹槽；

在所述凹槽内形成牺牲层，所述牺牲层与所述基板的表面平齐；

在所述牺牲层上形成一弹性膜，以使所述弹性膜搭接在所述凹槽的边缘，并部分覆盖所述凹槽的敞口，所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形；

去除所述牺牲层。

2.根据权利要求1所述的液体喷射装置的制造方法，其特征在于，在所述凹槽内形成牺牲层包括：

采用铵盐和柠檬酸组成的电镀液，通过电镀法形成锌层，作为所述牺牲层。

3.根据权利要求1所述的液体喷射装置的制造方法，其特征在于，形成牺牲层之前，还包括：

采用电镀法在所述凹槽内壁上依次电镀钛、铜和钛层，作为种子层。

4.根据权利要求1所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，在所述牺牲层上形成一弹性膜，包括：

通过低压化学气相沉积法或等离子体增强化学气相沉积法形成弹性膜，所述弹性膜的材料为SiO₂或Si₃N₄。

5.根据权利要求1所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，在所述牺牲层上形成一弹性膜之后还包括：在所述弹性膜表面上形成压电元件，所述压电元件用于产生使所述弹性膜产生弹性变形所需的外力。

6.根据权利要求5所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，在所述弹性膜表面上形成压电元件包括：

在所述弹性膜上通过溅射法形成下电极层；

在上述下电极层上通过溶胶凝胶法，并进行高温煅烧，形成压电体层；

在所述压电体层上通过溅射法形成上电极层。

7.根据权利要求6所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述下电极层为钛层、铂金层或多个钛层叠加层；所述压电体层为锆钛酸铅层；所述上电层为铂金层或黄金层。

8.根据权利要求1-7任一所述的液体喷射装置的制造方法，其特征在于，去除所述牺牲层包括：

采用稀盐酸去除所述牺牲层。

9.根据权利要求8所述的液体喷射装置的制造方法，其特征在于：

所述弹性膜的长度大于所述凹槽的长度，所述弹性膜的宽度小于所述凹槽的宽度，所述弹性膜相对于所述凹槽形成桥式结构。

10.根据权利要求8所述的液体喷射装置的制造方法，其特征在于，去除所述牺牲层之后，还包括：

将所述弹性膜搭接在凹槽边缘上的两端之中的一端开设通透至所述凹槽的缝隙，以使所述弹性膜成悬臂式结构。

11.根据权利要求8所述的液体喷射装置的制造方法，其特征在于，去除所述牺牲层之后还包括：

在所述基板上形成供墨通道、公共腔室和压力腔室，在所述压力腔室的外壁上形成喷嘴。

12.一种采用权利要求1-11任一所述的液体喷射装置的制造方法制造的液体喷射装置。