[发明专利]一种氮氧锌薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种氮氧锌薄膜的制备方法，采用射频磁控溅射，以体积百分数99.9-99.999%的氮化锌靶为溅射靶材，靶材与衬底的距离为20-150mm，在一定的射频频率下，以体积百分数99.9-99.999%的氩气为溅射气体，衬底温度为25-150℃，在0.5-5W/cm2的功率密度下实施溅射，溅射室的背景真空小于1×10-7托，先以所述氩气预溅射一段时间，再以体积百分数99.9-99.999%的氧气为反应气体，氧气流量0.1-60sccm，氩气流量5-100sccm，溅射压强0.1-10.0Pa，获得氮氧锌薄膜，其中，Zn原子数占51-66%，N∶O=1∶3～2∶1。本发明解决了氮在氧化锌中固溶度低的问题，制备得到的n型氮氧锌薄膜的载流子迁移率较高，电阻率较低。

主权项

一种氮氧锌薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：采用射频磁控溅射，以体积百分数为99.9‑99.999%的氮化锌靶为溅射靶材，溅射靶材与衬底的距离为20‑150mm，在一定的射频频率下，以体积百分数为99.9‑99.999%的氩气为溅射气体，衬底温度为25‑150℃，在0.5‑5W/cm2的功率密度下实施溅射，溅射室的背景真空小于1×10‑7托，先以所述氩气预溅射一段时间，再以体积百分数为99.9‑99.999%的氧气为反应气体，氧气流量为0.1‑60sccm，氩气流量为5‑100sccm，溅射压强控制在0.1‑10.0Pa之间，获得所述氮氧锌薄膜，所述氮氧锌薄膜中，Zn原子数占51‑66%，N∶O=1∶3～2∶1。