[发明专利]铬铝合金靶材及其制备方法有效
| 申请号: | 201310412674.8 | 申请日: | 2013-09-11 |
| 公开(公告)号: | CN104416156A | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
| 发明(设计)人: | 唐培新;张凤戈;张路长;姚伟;姜海;赵雷;高明;郝权;孙继洲 | 申请(专利权)人: | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分类号: | B22F3/04 | 分类号: | B22F3/04;B22F3/14;C22C1/04;C22C21/00;C22C27/06;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 刘春成;张向琨 |
| 地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明提供了一种铬铝合金靶材及其制备方法。其制备方法包括:制备合金粉末、冷等静压处理、脱气处理、热等静压处理以及机加工步骤。本发明的铬铝合金靶材具有致密度高、无气孔和偏析,组织均匀,晶粒细小等优点,适用于多种刀具、模具涂层溅射使用。 | ||
| 搜索关键词: | 铝合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种铬铝合金靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一,合金粉末的制备;步骤二,对制备好的所述合金粉末进行冷等静压处理;步骤三,对所述冷等静压处理后的料坯进行脱气处理;步骤四,对所述脱气处理后的料坯进行热等静压处理;步骤五,对所述热等静压处理后的料坯进行机加工,从而得到所需要的成品合金靶材。
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