[发明专利]靶材组件及其形成方法在审
| 申请号： | 201310412137.3 | 申请日： | 2013-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN104419907A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;吴剑波 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材组件及其形成方法，其中靶材组件的形成方法包括：提供靶材和背板，在所述靶材背面具有凸部，在所述背板上表面具有凹槽，或者在所述靶材背面具有凹槽，在所述背板上表面具有凸部；将所述靶材背面与背板上表面进行焊接，所述凸部嵌入所述凹槽。与现有技术的靶材背面与背板上表面之间的平面与平面焊接相比，本技术方案的凸部与凹槽紧密嵌合，可以进一步增加靶材与背板之间的焊接强度，降低了发生脱焊现象的可能性，避免脱焊对溅射过程造成的危害。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材组件的形成方法，其特征在于，包括：提供靶材和背板，在所述靶材背面具有凸部，在所述背板上表面具有凹槽，或者在所述靶材背面具有凹槽，在所述背板上表面具有凸部；将所述靶材背面与背板上表面进行焊接，所述凸部嵌入所述凹槽。
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