[发明专利]喷墨头制造方法、喷墨头及打印设备

摘要

本发明提供一种喷墨头制造方法、喷墨头及打印设备，该喷墨头制造方法包括：在基板的第一表面上形成压电元件；在压电元件背离基板一侧形成振动板；在压电元件上表面所在的第一平面与振动板上方的第二平面之间的空间内形成第二胶层，在第二胶层上形成第三胶层；对第二胶层及第三胶层进行曝光处理及显影处理，使第二胶层及第三胶层上的部分光刻胶固化，未固化的部分去除，以在第二胶层上形成公共腔室及压力腔室，在第三胶层上形成多个喷孔。本发明提供的喷墨头制造方法、喷墨头及打印设备，不仅提高了制造效率及制造精度，而且在加工中即使压力室和侧壁尺寸的减小也不会影响到基底的机械强度和性能，利于提高喷墨头生产过程中的成品率。

主权项

一种喷墨头制造方法，其特征在于，包括：在基板的第一表面上形成压电元件；在所述压电元件背离所述基板一侧形成振动板；在所述压电元件上表面所在的第一平面与所述振动板上方的第二平面之间的空间内涂覆光刻胶，形成与所述基板对应的第二胶层，在所述第二胶层上涂覆光刻胶，形成第三胶层；对所述第二胶层及第三胶层进行曝光处理，使所述第二胶层及第三胶层上的部分光刻胶固化；对所述第二胶层及所述第三胶层进行显影处理，使所述第二胶层及第三胶层未固化的部分去除，以在所述第二胶层上形成公共腔室及与所述公共腔室连通的多个压力腔室，在所述第三胶层上形成与所述压力腔室对应的多个喷孔。