[发明专利]喷墨头制造方法、喷墨头及打印设备

权利要求书

1.一种喷墨头制造方法，其特征在于，包括：

在基板的第一表面上形成压电元件；

在所述压电元件背离所述基板一侧形成振动板；

在所述压电元件上表面所在的第一平面与所述振动板上方的第二平面之间的空间内涂覆光刻胶，形成与所述基板对应的第二胶层，在所述第二胶层上涂覆光刻胶，形成第三胶层；

对所述第二胶层及第三胶层进行曝光处理，使所述第二胶层及第三胶层上的部分光刻胶固化；

对所述第二胶层及所述第三胶层进行显影处理，使所述第二胶层及第三胶层未固化的部分去除，以在所述第二胶层上形成公共腔室及与所述公共腔室连通的多个压力腔室，在所述第三胶层上形成与所述压力腔室对应的多个喷孔。

2.根据权利要求1所述的喷墨头制造方法，其特征在于，在基板的第一表面上形成压电元件，包括：

在所述基板的第一表面上通过低压化学气相沉积法或等离子体增强化学气相沉积法形成保护层；

在所述保护层上形成所述压电元件。

3.根据权利要求1所述的喷墨头制造方法，其特征在于，在基板的第一表面上形成压电元件，具体为：

在所述基板的第一表面上通过溅射法形成下电极层；

在所述下电极层上通过溶胶凝胶法形成压电体层；

在所述压电体层上通过溅射法形成上电极层。

4.根据权利要求3所述的喷墨头制造方法，其特征在于，所述下电极层为钛形成的钛层或铂金形成的铂金层或钛形成的多个钛层的叠加层；

所述压电体层为锆钛酸铅形成的锆钛酸铅层；

所述上电体层为铂金形成的铂金层或黄金形成的黄金层。

5.根据权利要求1所述的喷墨头制造方法，其特征在于，在所述压电元件背离所述基板一侧形成振动板，之前还包括：

在所述基板的第一表面与所述压电元件上表面所在的第一平面之间的空间内用光刻胶形成第一胶层；

采用第一掩膜对所述第一胶层进行曝光处理，使所述第一胶层的部分光刻胶固化；

在对所述第二胶层及所述第三胶层进行显影处理的同时，还包括：

对所述第一胶层进行显影处理，使所述第一胶层未固化的光刻胶去除，以在所述压电元件两侧形成缝隙。

6.根据权利要求1所述的喷墨头制造方法，其特征在于，在所述压电元件背离所述基板一侧形成振动板，具体为：

通过低压化学气相沉积法或等离子体增强化学气相沉积法形成振动板。

7.根据权利要求1所述的喷墨头制造方法，其特征在于，对所述第二胶层及第三胶层进行曝光处理，具体为：

在形成第三胶层之前，采用第二掩膜对所述第二胶层进行曝光处理，在形成第三胶层之后，采用第三掩膜对所述第三胶层进行曝光处理；或者，

在形成第二胶层及第三胶层之后，采用第四掩膜同时对所述第二胶层及第三胶层进行曝光处理。

8.根据权利要求5所述的喷墨头制造方法，其特征在于，在对所述第二胶层及所述第三胶层进行显影处理，之前还包括：

在所述第一胶层、第二胶层及第三胶层的外侧包覆保护层。

9.根据权利要求8所述的喷墨头制造方法，其特征在于，所述保护层的材料为耐酸碱的橡胶类树脂。

10.根据权利要求1-9任一所述的喷墨头制造方法，其特征在于，还包括：

在所述基板的第二表面通过蚀刻法蚀刻所述基板，形成供墨孔及所述压电元件用以变形的变形空间。

11.根据权利要求10所述的喷墨头制造方法，其特征在于，在所述基板的第二表面通过蚀刻法蚀刻所述基板，形成供墨孔及所述振动板用以变形的变形空间，之后还包括：

在所述基板的第二表面上粘贴盖板。

12.根据权利要求11所述的喷墨头制造方法，其特征在于，所述盖板的材料为聚甲基丙烯酸甲酯。

13.根据权利要求5所述的喷墨头制造方法，其特征在于，所述第一胶层、第二胶层及第三胶层的光刻胶均为负性光刻胶。

14.根据权利要求1-9任一所述的喷墨头制造方法，其特征在于，所述振动板的材料为氧化硅、氮化硅或氧化硅-氮化硅复合材料。

15.一种喷墨头，其特征在于，采用权利要求1-14任一所述的喷墨头制造方法制造而成。

16.一种打印设备，其特征在于，包括权利要求15所述的喷墨头。