[发明专利]一种石墨烯生长装置及其生长石墨烯的方法

摘要

本发明涉及一种石墨烯生长装置及其生长石墨烯的方法，包括石墨烯沉积系统、沉积炉和小车；石墨烯沉积系统的石墨烯模具和石墨烯基底设置在内石英管内部，内石英管开口端外部设有密闭法兰，密闭法兰上设有进气口和抽气口；沉积炉炉体右侧设有炉口，加热系统为空腔形，水平滑轨固定在炉口下侧，水平滑轨上滑动连接有石英管夹持装置；小车车体内设有水平升降台和水平夹持装置。本发明的石墨烯基底和模具放置于内石英管中，沉积后可随内石英管拉出快速降温冷却；炉体保温效果良好可直接保持在较高的温度，节约了升降温的时间，也避免了能源的浪费；设备配有多个小车及配套的石墨烯沉积系统，沉积完可进行快速切换，明显提高了工作效率。

主权项

一种石墨烯生长装置，其特征在于包括：石墨烯沉积系统（A）、沉积炉（B）和小车（C）；所述石墨烯沉积系统（A）包括内石英管（1）、石墨烯模具（21）和石墨烯基底（22），所述石墨烯模具（21）和石墨烯基底（22）设置在内石英管（1）内部，所述内石英管（1）包括开口端一（11）和密闭端一（12），所述开口端一（11）外部设有密闭法兰（13），所述密闭法兰（13）上设有进气口（14）和抽气口（17）；所述沉积炉（B）包括炉体（3）、加热系统（4）和水平滑轨（10），所述炉体（3）右侧设有炉口（31），所述加热系统（4）为空腔形，所述水平滑轨（10）固定在炉口（31）下侧，水平滑轨（10）上滑动连接有用于夹持内石英管（1）的石英管夹持装置（101）；所述小车（C）包括车体（5）和车轮（6），所述车体（5）内设有小车（C）水平升降台（51），所述水平升降台（51）上固定设有水平夹持装置（52）；所述内石英管（1）密闭端一（12）穿过炉口（31）设于加热系统（4）空腔内部。