[发明专利]一种模块化动铁式六自由度磁浮运动平台

摘要

一种模块化动铁式六自由度磁浮运动平台，主要应用于半导体光刻设备中。该运动平台包括基座、至少一个磁浮平面电机模块和一个体感控制器；每个磁浮平面电机模块由一个磁浮平面电机动子和一个磁浮平面电机定子组成，可实现微动工作台在水平面内沿X方向、沿Y方向和绕Z轴旋转。本发明与现有技术相比，由于线圈经过优化，不同规格的线圈能够适应一定的推力区间，因此可根据不同的承载力要求进行组合，具有结构简单，高效集成，节约生产成本等特点。

主权项

一种模块化动铁式六自由度磁浮运动平台，其特征在于：该磁浮运动平台包括基座（1）、至少一个磁浮平面电机模块和一个体感控制器（8）；每个磁浮平面电机模块由一个磁浮平面电机动子（4）和一个磁浮平面电机定子（3）组成，所述的磁浮平面电机定子包含有线圈模块（5）和集成驱动器模块（6），所述的线圈模块（5）由多组线圈单元分别沿X方向和Y方向排列而成，每组线圈单元至少包含三个方形线圈，相邻两组线圈单元正交排列，该线圈模块（5）固定在基座（1）上表面；所述的集成驱动器模块（6）与线圈模块（5）的所有线圈相连接，并在基座侧面留有对外接口，该集成驱动器模块（6）固定在基座内部；所述的磁浮平面电机动子包含一组永磁体阵列（15）和一块永磁体模块背板（19），所述的永磁体阵列（15）与永磁体模块背板（19）固定在一起，并位于磁浮平面电机定子的上方；体感控制器（8）设在所述的磁浮平面电机动子正上方，在所述的磁浮平面电机动子上表面设置至少三个红外标记点（2），红外标记点作为所述体感控制器（8）的测量目标物。