[发明专利]一种模块化动铁式六自由度磁浮运动平台

权利要求书

1.一种模块化动铁式六自由度磁浮运动平台，其特征在于：该磁浮运动平台包括基座（1）、至少一个磁浮平面电机模块和一个体感控制器（8）；每个磁浮平面电机模块由一个磁浮平面电机动子（4）和一个磁浮平面电机定子（3）组成，所述的磁浮平面电机定子包含有线圈模块（5）和集成驱动器模块（6），所述的线圈模块（5）由多组线圈单元分别沿X方向和Y方向排列而成，每组线圈单元至少包含三个方形线圈，相邻两组线圈单元正交排列，该线圈模块（5）固定在基座（1）上表面；所述的集成驱动器模块（6）与线圈模块（5）的所有线圈相连接，并在基座侧面留有对外接口，该集成驱动器模块（6）固定在基座内部；所述的磁浮平面电机动子包含一组永磁体阵列（15）和一块永磁体模块背板（19），所述的永磁体阵列（15）与永磁体模块背板（19）固定在一起，并位于磁浮平面电机定子的上方；体感控制器（8）设在所述的磁浮平面电机动子正上方，在所述的磁浮平面电机动子上表面设置至少三个红外标记点（2），红外标记点作为所述体感控制器（8）的测量目标物。

2.如权利要求1所述的一种模块化动铁式六自由度磁浮运动平台，其特征在于：所述的磁浮平面电机模块采用两个以上时，相邻的两个磁浮平面电机模块的定子之间通过定子接插件（9a）连接；相邻的两个磁浮平面电机模块的动子之间通过动子接插件（9b）连接并固定在一块动子集成板（7）上。

3.如权利要求1所述的一种模块化动铁式六自由度磁浮运动平台，其特征在于：所述的线圈单元采用叠层正交绕制的线圈组（4a），或采用单层长方形线圈由下至上叠层正交排列且水平放置的线圈组(4b)，或采用长方形线圈水平放置的线圈组(4c)，或采用长方形线圈竖直放置的线圈组，或采用叠层正交印刷PCB电路的线圈组；所述的每个线圈组的数量为三的倍数，每个线圈由通电导线和线圈骨架（10）组成。

4.如权利要求1所述的一种模块化动铁式六自由度磁浮运动平台，其特征在于：所述的永磁体阵列（15）由主永磁体和附永磁体组成，主永磁体与附永磁体以Halbach阵列形式粘接固定于永磁体模块背板（19）的表面上，相邻的主永磁体与附永磁体的磁场方向相互垂直，在各永磁体之间形成封闭磁路；或永磁体阵列（15）由主永磁体和附永磁体组成，按照相邻两块主永磁体以及边缘处主永磁体和附永磁体的充磁方向相反的阵列形式粘接固定于永磁体模块背板（19）表面上，在各永磁体之间形成封闭磁路。