[发明专利]基板弯曲装置、基板弯曲检查装置以及基板弯曲检查方法有效
申请号: | 201310399086.5 | 申请日: | 2013-09-05 |
公开(公告)号: | CN104181057B | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 苏正镐;朴顺龙;郑哲宇;郑又硕;金兑垠 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | G01N3/32 | 分类号: | G01N3/32;G01N3/06 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 张云珠;戴嵩玮 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供基板弯曲装置、基板弯曲检查装置以及基板弯曲检查方法,根据本发明的基板弯曲装置,包括:工作台,形成有通孔;基板吸盘,支撑所板的弯曲对象区域的邻接面,且通过所述通孔从所述工作台进出;升降部,使所述基板吸盘相对于所述工作台进行上升或下降;以及覆盖构件,以覆盖所述基板的状态紧贴于所述工作台,利用所述基板吸盘和所述工作台的高度之差弯曲所述弯曲对象区域。 | ||
搜索关键词: | 弯曲 装置 检查 以及 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基板弯曲装置,其特征在于,包括:工作台,形成有通孔;基板吸盘,支撑基板的弯曲对象区域的邻接面,且通过所述通孔从所述工作台进出;升降部,使所述基板吸盘相对于所述工作台进行上升或下降;以及覆盖构件,以覆盖所述基板的状态紧贴于所述工作台,利用所述基板吸盘和所述工作台的高度之差弯曲所述弯曲对象区域,在所述基板吸盘从所述工作台突出的状态下,所述基板吸盘利用所述基板吸盘和所述工作台的高度之差将所述基板的弯曲对象区域与所述覆盖构件一同弯曲,在所述基板吸盘从所述工作台突出的状态下,所述基板的一部分紧贴于所述基板吸盘的侧面。
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