[发明专利]表面无金属镀层硅片的电火花线切割法

摘要

发明公开了一种表面无金属镀层硅片的电火花线切割法，包括有以下操作步骤：1、用热探针测出已扩散硅片的N面或P面,硅片重叠时N面或P面朝同一方向；2、每隔5—10片硅片夹一张薄铁皮，薄铁皮厚度不大于0.1mm；3、切割过程：选用厚度不大于0.1mm的薄铁皮切成与待切硅片等直径的圆形，再去除圆铁皮表面油污，再将待切硅片与已⑴去除表面油污的圆铁皮间隔重叠；4、电火花线切割法：即用数控电火花线切割机床对硅片进行切割，本发明解决表面无金属镀层的硅片无法实现电火花线切割技术难题，实现表面无金属镀层硅片的电火花线切割。

主权项

表面无金属镀层硅片的电火花线切割法，其特征在于，包括有以下操作步骤：1、用热探针测出已扩散硅片的N面或P面, 硅片重叠时N面或P面朝同一方向；2、每隔5—10片硅片夹一张薄铁皮，薄铁皮厚度不大于0.1mm；3、切割过程：选用厚度不大于0.1mm的薄铁皮切成与待切硅片等直径的圆形 ，再去除圆铁皮表面油污 ，再将待切硅片与已⑴去除表面油污的圆铁皮间隔重叠；4、电火花线切割法：即用数控电火花线切割机床对硅片进行切割，其切割具体过程为：a、编写切割程序并输入数控系统；b、将表面有金属镀层（常见为镀镍层）的硅片重叠（300片左右）；c、用夹具固定在数控电火花线切割机床的坐标工作台上；d、校正切入点；e、 启动切割机床切割；f、切下的小硅片用洗衣粉溶液清洗干净；g、酒精脱水；h、烘干待用。