[发明专利]一种多晶棒料车削夹具及车削方法无效
申请号: | 201310384069.4 | 申请日: | 2013-08-30 |
公开(公告)号: | CN103434037A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 靳立辉;于书翰;贾弘源;刘旭光;闫耀东;卢君;姚长娟;李立伟;杨春庚 | 申请(专利权)人: | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D7/02;B28D5/02 |
代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 胡京生 |
地址: | 300384 天津市滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及一种多晶棒料车削夹具及车削方法。左端固定盘为圆柱体,一端为阶梯状,另一端孔内底端为盲孔,孔内上端为内锥面,右端固定盘为圆柱体,一端为平面,另一端为圆凸起面;车削方法如下:车床左端三爪卡盘固定夹紧带内锥面的左端固定盘,加工时用于固定多晶棒料的带锥面一侧,多晶棒料另一侧的端面与右端固定盘胶粘,再用机床尾座的顶尖对中顶紧,将硬质合金刀具卡紧,对好刀后,按优选的工艺参数进行棒料的车削,既切削速度为94m/min,纵向进给比例0.2,进刀量2mm,进刀角度80°,同时开启除尘冷却装置,车削完成后,按加工精度要求进行检验。本发明夹持稳定,径向跳动小,安全性高,提高了加工效率及产品合格率。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 车削 夹具 方法 | ||
【主权项】:
一种多晶棒料车削夹具及车削方法,其特征在于:所述夹具包括左端固定盘(1)和右端固定盘(2),所述左端固定盘(1)为圆柱体,其一端为阶梯状(1‑1),另一端孔内底端为盲孔(1‑2),孔内上端为内锥面(1‑3),所述右端固定盘(2)为圆柱体,其一端为平面(2‑1),另一端为圆凸起面(2‑2);所述车削方法步骤如下:将多晶棒料(3)的左端按尺寸磨制一定锥度,将多晶棒料(3)右端切割成平面,且端面与多晶棒料(3)的中心线垂直度小于0.2mm,然后将多晶棒料(3)的右端面与右端固定盘(2)的平面(2‑1)胶粘在一起;将左端固定盘(1)的阶梯状(1‑1)端用车床三爪卡盘(4)卡紧;将多晶棒料(3)一端的外锥面置于左端固定盘(2)的内锥面(1‑3)内,配合好后可实现自动对中,起到轴向、径向定向作用,其多晶棒料(3)右端上的右端固定盘(2)圆凸起面(2‑2)用车床尾座(5)顶尖顶紧,装卡完毕;将选定的硬质合金刀具卡紧,对好刀后,按优选的工艺参数进行棒料的车削,既切削速度为94m/min,纵向进给比例0.2,进刀量2mm,进刀角度80°,同时开启除尘冷却装置,既采用工业用吸尘器,将吸头固定于车刀刀架上,吸口对准车刀,车削时强大的气流吸走粉尘的同时也带走了热量,起到除尘冷却的作用,硅粉可直接收集;车削完成后,按加工精度要求:弯曲度<3mm、椭圆度<3mm、直径偏差<3mm检验。
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