[发明专利]一种多晶棒料车削夹具及车削方法无效

专利信息
申请号: 201310384069.4 申请日: 2013-08-30
公开(公告)号: CN103434037A 公开(公告)日: 2013-12-11
发明(设计)人: 靳立辉;于书翰;贾弘源;刘旭光;闫耀东;卢君;姚长娟;李立伟;杨春庚 申请(专利权)人: 天津市环欧半导体材料技术有限公司
主分类号: B28D7/04 分类号: B28D7/04;B28D7/02;B28D5/02
代理公司: 天津中环专利商标代理有限公司 12105 代理人: 胡京生
地址: 300384 天津市滨海*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 多晶 车削 夹具 方法
【权利要求书】:

1.一种多晶棒料车削夹具及车削方法,其特征在于:所述夹具包括左端固定盘(1)和右端固定盘(2),所述左端固定盘(1)为圆柱体,其一端为阶梯状(1-1),另一端孔内底端为盲孔(1-2),孔内上端为内锥面(1-3),所述右端固定盘(2)为圆柱体,其一端为平面(2-1),另一端为圆凸起面(2-2);

所述车削方法步骤如下:将多晶棒料(3)的左端按尺寸磨制一定锥度,将多晶棒料(3)右端切割成平面,且端面与多晶棒料(3)的中心线垂直度小于0.2mm,然后将多晶棒料(3)的右端面与右端固定盘(2)的平面(2-1)胶粘在一起;将左端固定盘(1)的阶梯状(1-1)端用车床三爪卡盘(4)卡紧;

将多晶棒料(3)一端的外锥面置于左端固定盘(2)的内锥面(1-3)内,配合好后可实现自动对中,起到轴向、径向定向作用,其多晶棒料(3)右端上的右端固定盘(2)圆凸起面(2-2)用车床尾座(5)顶尖顶紧,装卡完毕;

将选定的硬质合金刀具卡紧,对好刀后,按优选的工艺参数进行棒料的车削,既切削速度为94m/min,纵向进给比例0.2,进刀量2mm,进刀角度80°,同时开启除尘冷却装置,既采用工业用吸尘器,将吸头固定于车刀刀架上,吸口对准车刀,车削时强大的气流吸走粉尘的同时也带走了热量,起到除尘冷却的作用,硅粉可直接收集;

车削完成后,按加工精度要求:弯曲度<3mm、椭圆度<3mm、直径偏差<3mm检验。

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