[发明专利]管式PECVD镀膜时间自动生成方法

摘要

本发涉及一种管式PECVD镀膜时间自动生成方法。本发明的方法中，正常镀膜生产过程中，设定一个目标膜厚值Th，a.设定一个参与自动计算的舟的轮数值m；第1舟的镀膜时间设定为T1，第m舟的镀膜时间Tm=Th×(Tm-1+Tm-2…+T1)/(Thm-1+Thm-2…+Th1)；b.第m舟镀膜完成后的第n舟镀膜时间Tn=Th×(Tn-1+Tn-2…+Tn-m)/(Thn-1+Thn-2…+Thn-m)。本发明能够通过软件编程，自动计算单个石墨舟前若干轮镀膜的平均膜厚，并及时将计算数值与设定膜厚进行对比，通过计算给出该舟下一轮的工艺时间，实现生产过程镀膜沉积膜厚的精确控制。

主权项

一种管式PECVD镀膜时间自动生成方法，其特征是：包括下步骤（1）在管式PECVD镀膜生产过程中，将管式镀膜设备、自动下料机设备、膜厚测试设备分别与计算机连接，以单个石墨舟为单位，通过电脑采集的上述设备的信息，由软件生成该石墨舟舟号；（2）正常镀膜生产过程中，设定一个目标膜厚值Th，用带下标的Th表示下标值对应的石墨舟镀膜舟次检测的实际膜厚值；石墨舟的首次镀膜时间采用人为设定方式予以实现；完成首次输入后，自第二舟起，所需镀膜时间自动计算完成；具体计算方法是：a.获取初始值，即设定一个参与自动计算的舟的轮数值m，m大于2；第1舟的镀膜时间设定为T1，第2舟的镀膜时间T2=Th×T1/Th1 ，第3舟的镀膜时间T3=Th×(T2+T1)/(Th2+Th1)，以此类推，第m舟的镀膜时间Tm=Th×(Tm‑1+Tm‑2…+T1)/(Thm‑1+Thm‑2…+Th1)； b.第m舟镀膜完成后的第n舟镀膜时间Tn=Th×(Tn‑1+Tn‑2…+Tn‑m)/(Thn‑1+Thn‑2…+Thn‑m)；n大于m。