[发明专利]一种化学机械抛光用液无效
| 申请号： | 201310350434.X | 申请日： | 2013-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN104371548A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 赵明贵 | 申请（专利权）人： | 赵明贵 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213200 江苏省常州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及化工产品的技术领域，具体地说是一种化学机械抛光用液。该抛光用液由以下组分按重量百分比组成：氧化硅磨料10-50%，表面活性剂0.1-8%，螯合剂0.1-8%，氢氧化钠1-2%，余量为去离子水。本发明的目的是提供一种配方合理，效果理想的化学机械抛光用液。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光用液，其特征在于，由以下组分按重量百分比组成：氧化硅磨料10‑50%，表面活性剂0.1‑8%，螯合剂0.1‑8%，氢氧化钠1‑2%，余量为去离子水。
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