[发明专利]一种制造气体敏感复合纳米薄膜的方法无效
| 申请号： | 201310343727.5 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103469202A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 杨亚杰;张鲁宁;杨文耀;张波;徐建华;李世彬;蒋亚东 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C24/02;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谭新民 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种制造气体敏感复合纳米薄膜的方法，包括：制备氧化石墨烯分散溶液；用LB成膜法，用该氧化石墨烯分散溶液形成纳米薄膜，然后将所述纳米薄膜转移到气敏器件上；对纳米薄膜进行还原处理；然后在还原处理后的纳米薄膜上蒸镀导电聚合物层。根据本发明的方法制造的气体敏感纳米薄膜具有良好的气敏性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 气体 敏感 复合 纳米 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种制造气体敏感复合纳米薄膜的方法，其特征在于，包括：将氧化石墨烯分散于有机溶剂中，形成氧化石墨烯分散溶液；将所述氧化石墨烯分散溶液滴加于LB膜槽中的超纯水表面，使氧化石墨烯分散铺展于所述超纯水表面；用滑障将铺展于所述超纯水表面的氧化石墨烯压缩到成膜模压，形成纳米薄膜，然后将所述纳米薄膜转移到气敏器件上；对所述纳米薄膜进行还原处理；在还原处理后的所述纳米薄膜上蒸镀导电聚合物层。
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