[发明专利]一种制造气体敏感复合纳米薄膜的方法无效
| 申请号： | 201310343727.5 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103469202A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 杨亚杰;张鲁宁;杨文耀;张波;徐建华;李世彬;蒋亚东 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C24/02;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谭新民 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制造 气体 敏感 复合 纳米 薄膜 方法 | ||
1.一种制造气体敏感复合纳米薄膜的方法，其特征在于，包括：
将氧化石墨烯分散于有机溶剂中，形成氧化石墨烯分散溶液；
将所述氧化石墨烯分散溶液滴加于LB膜槽中的超纯水表面，使氧化石墨烯分散铺展于所述超纯水表面；
用滑障将铺展于所述超纯水表面的氧化石墨烯压缩到成膜模压，形成纳米薄膜，然后将所述纳米薄膜转移到气敏器件上；
对所述纳米薄膜进行还原处理；
在还原处理后的所述纳米薄膜上蒸镀导电聚合物层。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述溶剂为甲醇与超纯水的混合溶液，其中所述混合溶液中甲醇与超纯水的体积比为5:1至6:1。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述对所述纳米薄膜进行还原处理包括：将形成了所述纳米薄膜的所述气敏器件置于170至200摄氏度的水蒸气气氛中保持3至5小时。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述气敏器件为叉指电极或者有机薄膜晶体管。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述氧化石墨烯分散溶液中氧化石墨烯的浓度为0.5至1毫克/毫升。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述在还原处理后的所述纳米薄膜上蒸镀导电聚合物层包括：将进行还原处理后的形成了所述纳米薄膜的所述气敏器件置于具有导电聚合物气氛的高真空成膜设备中，在90至100摄氏度下沉积60至70分钟，从而在所述纳米薄膜上形成导电聚合物层。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述导电聚合物为六噻吩或者聚吡咯。
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