[发明专利]改善探针卡测试异常的智能测试系统及其测试方法

摘要

本发明公开了一种改善探针卡测试异常的智能测试系统，应用于芯片参数测试中，包括设有探针卡的测试机台，还包括：目标参数正常值设定装置，判断装置，测试结果输出装置，以及测试控制装置。本发明还公开了一种改善探针卡测试异常的测试方法，还包括如下步骤：目标参数正常值设定步骤，测试控制步骤，判断步骤，测试结果输出步骤，以及重复测试控制步骤。本发明的智能测试系统及其测试方法通过多次扎针、多次测试、多次参数范围判断，有效减少了探针卡的消耗，保证了探针卡的接触能力，控制了探针卡线材老化，从而改善了由于探针卡测试异常而造成的芯片参数测试结果异常的问题，提高了芯片测试的合格率。

主权项

一种改善探针卡测试异常的智能测试系统，应用于晶圆芯片参数测试中，包括设有探针卡的测试机台，其中，所述测试机台的探针卡连接所述芯片的焊垫，其特征在于，还包括：目标参数正常值设定装置，分别与判断装置、测试控制装置连接，用于预先设定目标参数的正常值；判断装置，还分别与所述测试机台、测试结果输出装置、测试控制装置连接，用于判断所述测试机台的测试结果是否在所述目标参数的正常值之间，以得到判断结果；测试结果输出装置，用于在所述判断结果为是时，将所述测试机台的测试结果输出；测试控制装置，还与所述测试机台连接，用于控制所述测试机台测试，或者在所述判断结果为否时，控制所述测试机台重复测试。