[发明专利]改善探针卡测试异常的智能测试系统及其测试方法

权利要求书

1.一种改善探针卡测试异常的智能测试系统，应用于晶圆芯片参数测试中，包括设有探针卡的测试机台，其中，所述测试机台的探针卡连接所述芯片的焊垫，其特征在于，还包括：

目标参数正常值设定装置，分别与判断装置、测试控制装置连接，用于预先设定目标参数的正常值；

判断装置，还分别与所述测试机台、测试结果输出装置、测试控制装置连接，用于判断所述测试机台的测试结果是否在所述目标参数的正常值之间，以得到判断结果；

测试结果输出装置，用于在所述判断结果为是时，将所述测试机台的测试结果输出；

测试控制装置，还与所述测试机台连接，用于控制所述测试机台测试，或者在所述判断结果为否时，控制所述测试机台重复测试。

2.根据权利要求1所述的改善探针卡测试异常的智能测试系统，其特征在于，预先设定所述目标参数的正常值为设定一个目标参数最大值和一个目标参数最小值。

3.根据权利要求1所述的改善探针卡测试异常的智能测试系统，其特征在于，所述测试控制装置在所述判断结果为否时，控制所述测试机台重复测试，具体为：首先所述测试控制装置控制所述测试机台的探针卡先抬起，接着控制所述测试机台的探针卡重新对所述芯片的焊垫扎针，之后再进行重复测试。

4.根据权利要求1或3所述的改善探针卡测试异常的智能测试系统，其特征在于，所述测试控制装置预设最大测试次数为N次，所述最大测试次数根据所述目标参数的需要设定N值。

5.根据权利要求4所述的改善探针卡测试异常的智能测试系统，其特征在于，所述测试机台的测试次数为N次时，无论所述判断装置判断所述测试机台的测试结果是否在所述目标参数的正常值之间，均将所述测试机台的测试结果输出。

6.一种改善探针卡测试异常的测试方法，采用如权利要求1所述的改善探针卡测试异常的智能测试系统，应用于晶圆芯片参数测试中，包括设有探针卡的测试机台，其中，所述测试机台的探针卡连接所述芯片的焊垫，其特征在于，还包括如下步骤：

目标参数正常值设定步骤，预先设定目标参数的正常值；

测试控制步骤，控制所述测试机台测试，以得到所述测试机台的测试结果；

判断步骤，判断所述测试机台的测试结果是否在所述目标参数的正常值之间，以得到判断结果；

测试结果输出步骤，在所述判断结果为是时，将所述测试机台的测试结果输出；

重复测试控制步骤，在所述判断结果为否时，控制所述测试机台重复测试，以得到所述测试机台的测试结果，重复判断步骤，直到所述判断结果为是时停止控制所述测试机台重复测试。

7.根据权利要求6所述的改善探针卡测试异常的测试方法，其特征在于，预先设定所述目标参数的正常值为设定一个目标参数最大值和一个目标参数最小值。

8.根据权利要求6所述的改善探针卡测试异常的测试方法，其特征在于，所述测试控制步骤在所述判断结果为否时，控制所述测试机台重复测试，具体为：首先控制所述测试机台的探针卡先抬起，接着控制所述测试机台的探针卡重新对所述芯片的焊垫扎针，之后再进行重复测试。

9.根据权利要求6或8所述的改善探针卡测试异常的测试方法，其特征在于，所述测试控制步骤预设最大测试次数为N次，所述最大测试次数根据所述目标参数的需要设定N值。

10.根据权利要求9所述的改善探针卡测试异常的测试方法，其特征在于，所述测试机台的测试次数为N次时，无论所述判断步骤判断所述测试机台的测试结果是否在所述目标参数的正常值之间，均将所述测试机台的测试结果输出。