[发明专利]一种新型介观压阻效应微加速度计

摘要

一种新型介观压阻效应微加速度计，主要结构由键合基板、敏感质量块、支撑框体、共振隧穿器件、组合梁组成，共振隧穿器件由共振隧穿材料薄膜层、共振隧穿器件正极、共振隧穿器件负极组成，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成；以键合基板为载体，在键合基板上键合有支撑框体，支撑框体的四边中心位置处连接有组合梁，组合梁连接于敏感质量块的四边中心部位，另一侧与支撑框体相连，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成。共振隧穿材料薄膜层形成多势垒压敏结构，可使硅压阻器件的灵敏度提高1-2个数量级，根据本发明实施例的微加速度计，结构合理紧凑，检测方便，精度高，可靠性好，适合微型化，具有很强的抗横向作用。

主权项

一种介观压阻效应微加速度计，其特征在于，包括：键合基板，键合基板上制作有为敏感质量块提供运动空间的底槽；加速度敏感体，所述的加速度敏感体设在键合基板的上方，并与键合基板粘结牢固,且加速度敏感体包括：敏感质量块，对应设在键合基板底槽上方；组合梁，用于连接敏感质量块和支撑框体；支撑框体，通过组合梁与敏感质量块连接，对敏感质量块起到支撑作用；共振隧穿器件，作为微加速度计的敏感部件，设在组合梁的检测梁根部。