[发明专利]一种新型介观压阻效应微加速度计

权利要求书

1.一种介观压阻效应微加速度计，其特征在于，包括：

键合基板，键合基板上制作有为敏感质量块提供运动空间的底槽；

加速度敏感体，所述的加速度敏感体设在键合基板的上方，并与键合基板粘结牢固,且加速度敏感体包括：

敏感质量块，对应设在键合基板底槽上方；

组合梁，用于连接敏感质量块和支撑框体；

支撑框体，通过组合梁与敏感质量块连接，对敏感质量块起到支撑作用；

共振隧穿器件，作为微加速度计的敏感部件，设在组合梁的检测梁根部。

2.根据权利要求1所述的微加速度计，其特征在于：所述键合基板上制作有底槽，敏感质量块可在底槽内上下、左右、前后运动。

3.根据权利要求1所述的微加速度计，其特征在于：所述敏感质量块，呈正方形，四边中心位置通过组合梁与支撑框体相连接。

4.根据权利要求1所述的微加速度计，其特征在于：所述组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁三部分组成，且正交回折形的组合梁有利于减小横向干扰，组合梁的检测梁根部设有共振隧穿器件。

5.根据权利要求1所述的微加速度计，其特征在于：所述支撑框体为一正方形中空框体，通过组合梁对敏感质量块起到支撑作用。

6.根据权利要求1所述的微加速度计，其特征在于：所述的共振隧穿器件，是在衬底层上制作绝缘层，然后绝缘层上制作具有介观压阻效应的共振隧穿材料薄膜层，共振隧穿材料薄膜层的两端分别连接有共振隧穿器件正极、共振隧穿器件负极；共振隧穿器件通过共振隧穿器件引线电极与外部电路连接。