[发明专利]一种双灯丝等离子淋浴装置在审
| 申请号： | 201310304592.1 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN103794453A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张进学 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种双灯丝等离子淋浴的装置，该装置主要用于低能大束流离子注入末端中的离子束的电子中和。该装置主要包括如下部分，离子源及引出系统(1)，包括灯丝，弧室腔体，磁铁，引出电极，连接条；送气系统(2)，包括阀门，接头，管子；水冷电极(3)，包括公引线头，母引线端子，绝缘压环，密封圈，引线保护罩等；冷却系统(4)，主要由快插接头、NPT接头、水冷管及管道等组成循环管路来冷却系统发热部件；安装支撑系统(5)，包括法兰，绝缘法兰、水冷支架。其特征在于采用双灯丝结构，与单灯丝相比淋浴效果更好、效率更高；同时该装置结构紧凑，采用模块化的设计方式，安装维护方面，合理设计的冷却系统可以延长该装置的使用寿命。本装置使用于大束流离子注入装置，实际使用效果较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灯丝 等离子 淋浴 装置 | ||
【主权项】：
一种双灯丝等离子淋浴的装置，该装置主要用于低能大束流离子注入末端中的离子束的电子中和。该装置主要包括如下部分，2个离子源及引出系统(1)，包括灯丝，弧室腔体，磁铁，引出电极，连接条；送气系统(2)，包括阀门，接头，管子；4个水冷电极(3)，包括公引线头，母引线端子，绝缘压环，密封圈，引线保护罩等；冷却系统(4)，主要由快插接头、NPT接头、水冷管及管道等组成循环管路来冷却系统发热部件；安装支撑系统(5)，包括法兰，绝缘法兰、水冷支架。其特征在于采用双灯丝结构，与单灯丝相比淋浴效果更好、效率更高；同时该装置结构紧凑，采用模块化的设计方式，安装维护方面，合理设计的冷却系统可以延长该装置的使用寿命。本装置使用于大束流离子注入装置，实际使用效果较好。
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