[发明专利]一种调节多磁极运动控制的方法无效
| 申请号： | 201310303905.1 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN104299873A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 高婷婷 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/15 | 分类号： | H01J37/15 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种调节多磁极运动的控制方法，包括：工控机(1)、光纤(2)、信号输入输出板(3)、电机驱动板(4)、开关电源(5)、以及多磁极(6)。说明书对一种调节多磁极运动的控制方法作出了详细说明，并给出了具体实施方案。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 磁极 运动 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种调节多磁极运动的控制方法，其特征在于：工控机(1)、光纤(2)、信号输入输出板(3)、电机驱动板(4)、开关电源(5)、以及多磁极(6)。
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