[发明专利]面向三维元胞模型中确定刻蚀粒子到达表面的方法有效
| 申请号： | 201310303479.1 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN103425871A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 宋亦旭;郑树琳;孙晓民 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G06F19/00 | 分类号： | G06F19/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种面向三维元胞模型刻蚀工艺中确定刻蚀粒子到达表面元胞的方法，其特征在于：该方法首先确定刻蚀粒子的三个速度分量分别到达各自维度元胞边界所需的时间；然后根据到达边界时间最短的速度分量，计算刻蚀粒子在次短边界时间内将经过的元胞；依次判断经过的元胞是否为表面元胞，若是表面元胞则结束，否则以刻蚀粒子在次短边界时间内最终到达的新元胞位置为起点，重新进行边界时间排序、计算及判断经过的元胞，寻找表面元胞。本发明既避免了刻蚀粒子入射点错误选取的风险，同时提高了刻蚀粒子寻找表面作用点的计算速度。 | ||
| 搜索关键词： | 面向 三维 模型 确定 刻蚀 粒子 到达 表面 方法 | ||
【主权项】：
一种面向三维元胞模型刻蚀工艺中确定刻蚀粒子到达表面元胞的方法，其特征在于：该方法首先确定刻蚀粒子的三个速度分量分别到达各自维度元胞边界所需的时间；然后根据到达边界时间最短的速度分量，计算刻蚀粒子在次短边界时间内将经过的元胞；依次判断经过的元胞是否为表面元胞，若是表面元胞则结束，否则以刻蚀粒子在次短边界时间内最终到达的新元胞位置为起点，重新进行之前的边界时间计算和表面元胞寻找过程。
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G06 计算；推算；计数
G06F 电数字数据处理
G06F19-00 专门适用于特定应用的数字计算或数据处理的设备或方法
G06F19-10 .生物信息学，即计算分子生物学中的遗传或蛋白质相关的数据处理方法或系统
G06F19-12 ..用于系统生物学的建模或仿真，例如：概率模型或动态模型，遗传基因管理网络，蛋白质交互作用网络或新陈代谢作用网络
G06F19-14 ..用于发展或进化的，例如：进化的保存区域决定或进化树结构
G06F19-16 ..用于分子结构的，例如：结构排序，结构或功能关系，蛋白质折叠，结构域拓扑，用结构数据的药靶，涉及二维或三维结构的
G06F19-18 ..用于功能性基因组学或蛋白质组学的，例如：基因型–表型关联，不均衡连接，种群遗传学，结合位置鉴定，变异发生，基因型或染色体组的注释，蛋白质相互作用或蛋白质核酸的相互作用
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