[发明专利]面向三维元胞模型中确定刻蚀粒子到达表面的方法

权利要求书

1.一种面向三维元胞模型刻蚀工艺中确定刻蚀粒子到达表面元胞的方法，其特征在于：该方法首先确定刻蚀粒子的三个速度分量分别到达各自维度元胞边界所需的时间；然后根据到达边界时间最短的速度分量，计算刻蚀粒子在次短边界时间内将经过的元胞；依次判断经过的元胞是否为表面元胞，若是表面元胞则结束，否则以刻蚀粒子在次短边界时间内最终到达的新元胞位置为起点，重新进行之前的边界时间计算和表面元胞寻找过程。

2.如权利要求1所述方法，其特征在于，该方法具体包括以下步骤：

1)边界时间排序：在三个维度方向上，分别计算刻蚀粒子的三个速度分量到达刻蚀粒子当前所在元胞边界的时间，并对这三个边界时间进行排序；

2)计算经过的元胞：在到达元胞边界次短的时间内，刻蚀粒子将经过的元胞都集中在沿着边界时间最短的速度分量的方向上；根据边界时间最短的速度分量和次短的边界时间，计算刻蚀粒子将在该速度分量方向上经过的元胞；

3)判断经过的元胞：按照刻蚀粒子在边界时间最短的速度分量方向上经过的元胞先后，逐个判断经过的元胞是否为表面元胞，若是则刻蚀粒子移动到该表面元胞并结束；否则以刻蚀粒子在次短边界时间内最终到达的新元胞位置为起点，并返回步骤1)重新计算，直到碰到表面元胞则结束。