[发明专利]具有提高的寿命和溅射均匀度的溅射靶材有效
| 申请号： | 201310289182.4 | 申请日： | 2008-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN103422067A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 阿道夫·米勒·艾伦;基焕·尹;特德·郭;洪·S·杨;相镐·于 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;钟强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于溅射腔室的溅射靶材，其包含背板并且所述背板上安装有溅射板。在一态样中，所述背板包括正面具有环形凹槽的圆形板。所述溅射板包含具有溅射面及背面的圆盘，在所述圆盘的背面具有环形凸脊，并且环形凸脊的形状与尺寸塑造成能使所述凸脊安装入所述背板的环形凹槽中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 提高 寿命 溅射 均匀 | ||
【主权项】：
一种用于磁控溅射腔室的溅射靶材，所述溅射靶材包括：(a)背板，所述背板包含圆形板，所述圆形板包含顺磁性的第一材料；(b)安装在所述背板上的溅射板，所述溅射板包含圆盘，所述圆盘包括第二材料；以及(c)位于所述圆形板中的环，所述环包括强磁性的第三材料，其中所述环增强所述背板中的涡电流，从而在所述溅射板附近产生较低净磁场，其中所述第一、第二和第三材料是不同材料。
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