[发明专利]一种X射线辐射探测器用闪烁屏结构有效
| 申请号： | 201310275117.6 | 申请日： | 2013-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN103344984A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 梁栌伊 | 申请（专利权）人： | 梁栌伊 |
| 主分类号： | G01T1/202 | 分类号： | G01T1/202 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 318020 浙江省台州市黄*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种X射线辐射探测器用闪烁屏结构，包括硅衬底；在所述硅衬底上通过激光蒸镀工艺沉积碘化铯杂化膜，所述碘化铯杂化膜为掺杂铊和硼的碘化铯厚膜；并且在所述碘化铯厚膜上沉积有透明阻水膜，所述透明阻水膜的可见光透过率≥90%，水蒸气透过率≤0.01g•m-2•day-1。本发明所述的X射线辐射探测器用闪烁屏结构，不但所述的闪烁屏结构致密、成分均匀、与衬底的粘结性良好，而且所述的封装结构具有优异的阻水防水性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射线 辐射 探测 器用 闪烁 结构 | ||
【主权项】：
一种X射线辐射探测器用闪烁屏结构，包括硅衬底；其特征在于在所述硅衬底上通过激光蒸镀工艺沉积碘化铯杂化膜，所述碘化铯杂化膜为掺杂铊和硼的碘化铯厚膜；并且在所述碘化铯厚膜上沉积有透明阻水膜，所述透明阻水膜的可见光透过率≥90%，水蒸气透过率≤0.01g•m‑2•day‑1。
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