[发明专利]一种太阳能硅片切割液在审
申请号: | 201310274468.5 | 申请日: | 2013-07-02 |
公开(公告)号: | CN104277890A | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 殷福华;邵勇;朱龙 | 申请(专利权)人: | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C10M161/00 | 分类号: | C10M161/00;C10M129/06;C10M133/08;C10N40/00 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 曾少丽 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提出了一种太阳能硅片切割液,以重量份计,包括5份~40份的聚乙二醇;1份~20份的脂肪醇;1份~20份的三乙醇胺;10份~20份的添加剂。采用本发明可以减少硅片切割后的损伤,并且减少对环境的污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能 硅片 切割 | ||
【主权项】:
一种太阳能硅片切割液,其特征在于,以重量份计,包括:5份~40份的聚乙二醇;1份~20份的脂肪醇;1份~20份的三乙醇胺;以及10份~20份的添加剂。
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