[发明专利]一种射频串扰的测量方法、设备和系统有效
| 申请号： | 201310270188.7 | 申请日： | 2013-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN103943449A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 陈伟绩;蔡明光 | 申请（专利权）人： | 厦门天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;G01R29/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 刘松 |
| 地址： | 361101 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频串扰的测量方法、设备和系统，主要内容包括：通过调节等离子体增强型化学气相沉积PECVD系统中射频电极(包括阳极和阴极）的匹配网络阻抗值，和/或者所述射频电极的射频能量发生设备的阻抗值，使所述匹配网络阻抗值及所述射频电极阻抗值之和与所述射频能量发生设备的阻抗值相同，利用射频电极与射频能量发生设备之间能量传递的可逆性，测量所述射频电极接收到的电信号，根据测量得到的电信号，确定所述射频电极所受到的射频串扰的能量，这样对PECVD系统中射频电极间产生的射频串扰进行定量测量，有利于根据测量结果排除该射频串扰，增加PECVD系统中射频电极的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 测量方法 设备 系统 | ||
【主权项】：
一种射频串扰的测量方法，其特征在于，包括：调节等离子体增强型化学气相沉积PECVD系统中射频电极的匹配网络阻抗值和/或调节所述射频电极的射频能量发生设备的阻抗值，使所述匹配网络阻抗值及所述射频电极阻抗值之和与所述射频能量发生设备的阻抗值相同；测量所述射频电极接收到的电信号；根据所述测量得到的电信号，确定所述射频电极所受到的射频串扰的能量。
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