[发明专利]一种射频串扰的测量方法、设备和系统

权利要求书

1.一种射频串扰的测量方法，其特征在于，包括：

调节等离子体增强型化学气相沉积PECVD系统中射频电极的匹配网络阻抗值和/或调节所述射频电极的射频能量发生设备的阻抗值，使所述匹配网络阻抗值及所述射频电极阻抗值之和与所述射频能量发生设备的阻抗值相同；

测量所述射频电极接收到的电信号；

根据所述测量得到的电信号，确定所述射频电极所受到的射频串扰的能量。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，测量所述射频电极接收到的电信号，包括：

暂停所述射频能量发生设备向所述射频电极通入射频能量，对所述射频电极接收到的电信号进行检测；

其中，所述射频电极接收到的电信号包括：所述射频电极接收到的所述PECVD系统中其他射频电极辐射的射频能量、所述射频电极接收到的射频传输线中泄漏的射频能量中的一种或者多种。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述调节等离子体增强型化学气相沉积PECVD系统中射频电极的匹配网络阻抗值，包括：

固定所述PECVD系统中所述射频电极的射频发生设备的输出频率，调节PECVD系统中所述射频电极的匹配网络的阻抗值。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述调节等离子体增强型化学气相沉积PECVD系统中射频电极的射频能量发生设备的阻抗值，包括：

固定所述PECVD系统中所述射频电极的匹配网络的阻抗值，通过调节所述PECVD系统中所述射频电极的射频发生设备阻抗值。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述调节PECVD系统中射频电极的射频发生设备的输出频率，包括：

在1MHz～1000MHz的频率范围内对所述PECVD系统中所述射频电极的射频发生设备的输出频率进行调节。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述接收到的电信号包括：电流信号和/或电压信号。

7.如权利要求1～6所述的方法，其特征在于，根据测量得到的电信号，确定所述射频电极所受到的射频串扰的能量，包括：

根据测量得到的电信号，计算得到所述电信号产生的射频能量值，并将计算得到的所述射频能量值作为所述射频电极所受到的射频串扰的能量。

8.一种射频串扰的测量设备，其特征在于，包括：

调整模块，用于调节等离子体增强型化学气相沉积PECVD系统中射频电极的匹配网络的阻抗值或者调节所述射频电极的射频能量发生设备的阻抗值，使所述匹配网络阻抗值及所述射频电极阻抗值之和与所述射频能量发生设备的阻抗值相同；

测量模块，用于测量所述射频电极接收到的电信号；

计算模块，用于根据测量得到的电信号，确定所述射频电极所受到射频串扰的能量。

9.如权利要求8所述的设备，其特征在于，

所述测量模块，具体用于指示所述射频发生设备暂停向所述射频电极通入射频能量，并对所述射频电极接收到的电信号进行检测；

其中，所述射频电极接收到的电信号包括：所述射频电极接收到的所述PECVD系统中其他射频电极辐射的射频能量、所述射频电极接收到的射频传输线中泄漏的射频能量中的一种或者多种。

10.如权利要求8所述的设备，其特征在于，

所述调整模块，用于固定所述PECVD系统中所述射频电极的射频发生设备的输出频率，调节PECVD系统中所述射频电极的匹配网络的阻抗值。

11.如权利要求8所述的设备，其特征在于，

所述调整模块，用于固定所述PECVD系统中所述射频电极的匹配网络的阻抗值，调节PECVD系统中所述射频电极的射频发生设备的输出频率。

12.一种射频串扰的测量系统，包括：等离子体增强型化学气相沉积PECVD系统中产生等离子体的射频电极、匹配网络、和射频能量发生设备，其特征在于，还包括：如权利要求8～11任一所述的射频串扰测量设备。