[发明专利]成膜装置

摘要

本发明提供一种能够确保消除了从地面突起的突起部的作业场所的成膜装置。本发明的成膜装置构成为具备：真空腔室主体（30），其具有输送装置（10）并形成有开放内部的开口部（31），所述输送装置在使基板（101）竖立成基板（101）的板厚方向即X方向成为水平方向的状态下，能够向与板厚方向交叉的输送方向即Y方向输送基板（101）；腔室门（40），其能够开闭真空腔室主体（30）的开口部（31）；及引导构件（80），其设置于真空腔室主体（30）的上方并引导腔室门（40）能够向板厚方向水平移动。

主权项

一种成膜装置，其对基板进行成膜处理，其特征在于，具备：真空腔室主体，其具有输送构件并形成有开放内部的开口部，所述输送构件在使所述基板竖立成所述基板的板厚方向成为水平方向的状态下，能够向与所述板厚方向交叉的输送方向输送所述基板；腔室门，其能够开闭所述真空腔室主体的所述开口部；及引导构件，其设置于所述真空腔室主体的上方并以能够向所述板厚方向水平移动的方式引导所述腔室门。