[发明专利]成膜装置

说明书

技术领域

本申请主张基于2012年10月10日申请的日本专利申请第2012-225324号的优先权。该申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

本发明涉及一种成膜装置。

背景技术

例如，在对基板等对象物进行成膜的成膜装置中，在使基板竖立成基板的板厚方向成为水平方向的状态下输送基板（例如参考专利文献1）。专利文献1中记载的成膜装置具备输送几乎垂直地竖立的基板的真空腔室和支承真空腔室的平台。该真空腔室的侧壁面上组装有加热器等必要机构。为了对这些必要机构进行清洁、更换等维护作业，该侧壁面被安装于在平台上可移动的台车，并通过使台车从向水平远离真空腔室的方向移动而能够进行开闭。

专利文献1：日本特开平1-272768号公报

专利文献1中记载的成膜装置中，需要将移动设置有4个行驶辊的台车的2条导轨设置于平台上，并且在平台上确保用于进行维护作业的作业场所。然而，导轨的至少一方被设为向上方突出的凸形状，因此从安全角度来讲在平台上的作业场所配置类似形成凸部的导轨是不可取的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够确保消除了从地面突起的突起部的作业场所的成膜装置。

本发明为对基板进行成膜处理的成膜装置，其特征在于，具备：真空腔室主体，其具有输送构件并形成有开放内部的开口部，所述输送构件在使基板竖立成基板的板厚方向成为水平方向的状态下，向与板厚方向交叉的输送方向输送基板；腔室门，其能够开闭真空腔室主体的开口部；及引导构件，其设置于真空腔室主体的上方并引导腔室门能够向板厚方向水平移动。

该成膜装置的引导腔室门可向基板的板厚方向水平移动。由此，能够使腔室门向远离真空腔室主体的方向移动来打开开口部。并且，能够使腔室门向靠近真空腔室主体的方向移动来关闭开口部。而且，该腔室门通过设置于真空腔室主体的上方的引导构件被水平地引导，因此无需在腔室门的下方及腔室门所移动的平台上设置用于支承及引导腔室门的结构。因此，能够确保消除了从地面突起的突起部的作业场所。

引导构件还可具有向板厚方向延伸并在输送方向上隔开配置的一对导轨、及架设于一对导轨之间并与腔室门连结且沿导轨可往复移动的吊梁。由于腔室门与吊梁连结，因此能够轻松地实施腔室门的上下方向的位置调整。

输送构件通过可装卸地保持基板的输送托盘来保持基板并向输送方向输送，并且具备向输送方向的上游侧返送输送托盘的返送构件，返送构件与真空腔室主体的开口部对置，并在板厚方向上隔开配置，一对导轨的一端侧安装于真空腔室主体的上端，另一端侧安装于返送构件的上端即可。由此，一对导轨被设为两端支承的状态，因此能够良好地支承作为重物的腔室门。并且，由于无需设置用于支承一对导轨的另一端侧的新部件，所以能够实现成膜装置整体的省空间化。

返送构件也可以以竖立状态返送输送托盘。由此，返送构件成为纵长并将导轨的另一端轻松地安装在返送构件的上端。因此，能够提高返送构件相对于基板的板厚方向的强度。

在吊梁的两端部设置有能够沿一对导轨行驶的导向辊，引导构件也可具有防止导向辊脱轨的脱轨防止机构。由此，防止悬挂在吊梁上的腔室门从一对导轨脱落，并能够提高腔室门的开闭作业的安全性。

在吊梁的两端部设置有能够沿一对导轨行驶的导向辊，引导构件可具有防止导向辊蛇行的蛇行防止机构。由此，能够使悬挂在吊梁上的腔室门顺畅地水平移动。

在一对导轨的一方行驶的导向辊的周面上可形成在周向连续的凹部或凸部，在导向辊所行驶的导轨上可形成与导向辊的凹部对应的凸部或与导向辊的凸部对应的凹部。由此，导向辊的移动方向被限制在板厚方向上，因此能够适当地防止导向辊的脱轨及蛇行。

在吊梁的两端部，可在导轨所延伸的方向上配置多个导向辊。由此，在导轨所延伸的方向上，吊梁在多个点被支承于导轨上，因此能够通过防止腔室门向导轨所延伸的方向摆动来使腔室门更加顺畅地移动。

发明效果：

根据本发明，提供一种能够确保消除了从地面突起的突起部的作业场所的成膜装置。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式所涉及的成膜装置的俯视图。

图2是从正面侧表示腔室内的剖视图。

图3是从输送方向的前面表示成膜腔室内的剖视图。

图4是表示通过腔室门打开真空腔室主体的开口部的状态的立体图。

图5是从侧面表示夹具机构的图。

图6是从输送方向的前面表示成膜装置的剖视图。

图7是从正面侧放大表示引导构件及腔室门的一部分的图。