[发明专利]一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器有效
申请号: | 201310268418.6 | 申请日: | 2013-06-28 |
公开(公告)号: | CN103293715A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 费永浩;陈少武 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02F1/01 | 分类号: | G02F1/01 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器,其包括:入射波导,其为直波导,用于接收入射光和输出出射光;弯曲波导,其与入射波导近距离设置,使得经过入射波导内的入射光部分耦合进该弯曲波导,且经过该弯曲波导的出射光部分耦合进所述入射波导并输出;马赫曾德尔干涉仪结构,其输入端与弯曲波导的输入端相连,其输出端与弯曲波导的输出端相连,以形成微环谐振腔,且其用于增加微环谐振腔的光损耗。行波电极,其用于向所述马赫曾德尔干涉仪结构加载电压,以使得马赫曾德尔干涉仪结构对输入其的光进行强度调制。本发明通过在微环非耦合区加入了MZI结构,利用微环临界耦合和非临界耦合状态的转换完成对入射光的调制。 | ||
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【主权项】:
一种基于微环‑马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器,其包括:入射波导,其为直波导,用于接收入射光和输出出射光;弯曲波导,其与入射波导近距离设置,使得经过入射波导内的入射光部分耦合进该弯曲波导,且经过该弯曲波导的出射光部分耦合进所述入射波导并输出;马赫曾德尔干涉仪结构,其输入端与弯曲波导的输入端相连,其输出端与弯曲波导的输出端相连,以形成微环谐振腔,且其用于增加微环谐振腔的光损耗。行波电极,其用于向所述马赫曾德尔干涉仪结构加载电压,以使得马赫曾德尔干涉仪结构对输入其的光进行强度调制。
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