[发明专利]用于最小化热噪声的具有阶梯式空腔的压力传感器件

摘要

本发明涉及一种用于最小化热噪声的具有阶梯式空腔的压力传感器件。一种压力传感元件可以包括隔膜和阶梯式空腔。所述压力传感元件可以包括可操作以根据响应于感测到的流体的压力的隔膜的弯曲量来生成电信号的多个压敏电阻器。可以使用粘合剂将所述压力传感元件安装到外壳衬底上，以使粘合剂的一部分附着于第一空腔的壁和阶梯式空腔的阶梯面，以重分布压力传感元件上的热诱导应力。所述阶梯式空腔可以被包含在MEMS压力传感元件中以减小或消除诸如偏移电压输出的温度系数（TCO）之类的热噪声。

主权项

1.一种装置，包括：由硅衬底形成的压力传感元件，所述压力传感元件包括：阶梯式空腔，其通过第一空腔的多个壁、形成所述第一空腔的上表面的阶梯面、形成到所述第一空腔的阶梯面中的第二空腔的多个壁、和隔膜的底面形成到所述压力传感元件的基面中；以及隔膜的顶面上的多个压敏电阻器。